能够抑制电阻率反翘的重掺砷硅单晶生产方法

成果编号：9642022Y0647

第一完成单位名称：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

联系人：熊 欢         联系人电话：18795196059

成果简介：

项目通过统计分析，找到重掺砷硅单晶晶棒出现电阻率反翘率峰值处所对应的等径长度及该处影响电阻率反翘的特征因子，通过调整该特征因子，降低电阻率反翘率，再通过降低坩埚转速和/或提高单晶炉炉压，能够有效抑制重掺砷硅单晶晶棒电阻率反翘，提高产品合格率，减少浪费。