直拉硅单晶的掺杂装置及方法

成果编号：9642022Y0646

第一完成单位名称：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

联系人：熊 欢         联系人电话：18795196059

成果简介：

项目可以有效地调节内胆本体的压力，避免冒泡现象的产生，减少掺杂剂的挥发，使得气化掺杂剂充分融入硅熔液中进行掺杂，提高掺杂率，减少炉内污染。装置的掺杂方法减少了掺杂剂的挥发，有效的提高了磷，砷的掺杂效率，使得磷的掺杂效率在93%以上，砷的掺杂效率在90%以上，并且减少了高纯元素的使用量，减少了环境污染。