低电阻率重掺砷硅单晶的生产方法及生产系统

成果编号：9642022Y0645

第一完成单位名称：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

联系人：熊 欢         联系人电话：18795196059

成果简介：

项目通过调整低电阻率重掺砷硅单晶晶棒生产过程中，等径尾部及收尾端部的单晶生长速率、补偿温度、氩气流量，改善低电阻率重掺砷硅单晶的生产工艺，采用调整后的低电阻率重掺砷硅单晶的生产方法得到的重掺砷单晶硅晶棒，不仅电阻率能够满足要求，且晶棒尾部的晶变概率大幅度降低，晶棒尾部的晶变概率由改善前的45％降低至5％以下，提高晶棒合格率，减少原料浪费，降低生产成本。