能够降低头部电阻率的重掺As硅单晶生产方法

成果编号：9642022Y0644

第一完成单位名称：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

联系人：熊 欢         联系人电话：18795196059

成果简介：

项目通过调整等径前工序、一段等径工序、二段等径工序及收尾工序的单晶炉炉压，并提高工艺过程中的氩气流量，显著降低所制备的重掺As硅单晶的电阻率，尤其是将重掺As硅单晶晶棒的头部电阻率降低至0.0029Ω.cm以下，提高重掺As硅单晶晶棒的综合利用率，降低生产成本。同时，电阻率降低的同时，重掺As硅单晶晶棒拉制过程中，发生晶变导致NG的概率显著下降，进一步提高重掺As硅单晶晶棒的合格率，降低生产成本。