石英坩埚制备装置及降低石英坩埚中脱羟的方法

成果编号：9642022Y0643

第一完成单位名称：宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司

联系人：熊 欢         联系人电话：18795196059

成果简介：

项目适宜于石英坩埚玻璃化之后直接脱羟，能一步实现石英坩埚的成型、脱羟，省去了专门的脱羟设备，密封壳体和水冷模具各自设置独立真空，能有效满足脱羟工艺过程控制要求，石英坩埚的羟基含量可以降低到20～30ppm，提高了石英坩埚的黏度，抑制石英坩埚在拉晶过程中的气泡膨胀；降低坩埚的变形概率，提高了单晶晶棒的品质。