低电阻率重掺砷硅单晶生产方法

成果编号：9642022Y0648

第一完成单位名称：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

联系人：熊 欢         联系人电话：18795196059

成果简介：

项目形成一种低电阻率重掺砷硅单晶生产方法，通过该方法进行重掺砷硅单晶的生产，能够有效降低得到的低电阻率重掺砷硅单晶晶棒的电阻率，提高低电阻率重掺砷硅单晶晶棒的头部电阻率的合格率，且得到的低电阻率重掺砷硅单晶晶棒的尾部电阻率能够小于0.002Ω.cm。