多晶硅筒加工装置及多晶硅筒加工方法

    成果编号：9642024Y0870
    第一完成单位名称：宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
    联系人：熊欢 联系人电话：15729599459
    成果简介：
    项目提供一种多晶硅筒加工装置及方法，以解决现有技术中因加工刀具直接与多晶硅锭接触进行旋转加工造成加工刀具损坏或多晶硅筒加工报废的问题，利用导向润滑降温装置将圆筒型刀具转动切削过程中所产生的热量快速传导，降低圆筒型刀具的温度，利用导向润滑降温装置具有的导向、导热、润滑及缓冲的作用能够提供掏筒的准确率。