气相催化转化氯代乙硅烷制备氯代单硅烷的工艺及其专用催化剂

成果编号：9642022Y0696

第一完成单位名称：宁夏胜蓝化工环保科技有限公司

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成果简介：

国内外的多晶硅厂家对聚合氯硅烷的利用尚不充分，几乎所有的多晶硅厂家均采用水解工艺将其无害化处理，但是这样处理最终产生大量含盐废水而污染环境。项目形成了一种气相催化转化氯代乙硅烷制备氯代单硅烷的工艺以及对应的催化剂。催化剂是负载有氯化亚铜的负载型催化剂，催化剂的载体是钛硅分子筛。采用上述催化剂气相催化转化氯代乙硅烷制备氯代单硅烷的工艺包括：先精馏分离聚合氯硅烷得到氯代乙硅烷；再将氯代乙硅烷气化后，最后将气化后的氯代乙硅烷与氯化氢气体混合进行反应，将聚合氯硅烷转化为多晶硅原料三氯氢硅与四氯化硅。