控制单晶硅尾部长度的方法及单晶炉收尾方法

成果编号：9642022Y0744

第一完成单位名称：宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司

联系人：熊 欢         联系人电话：18795196059

成果简介：

项目形成一种单晶硅收尾方法，实现同一批次或相近批次的单晶硅硅棒尾部长度可控，避免单晶硅硅棒尾部过长，导致收尾用料较多，且收尾时间长，或者单晶硅硅棒尾部过短，造成位错，使晶体失去完整单晶结构。同时，控制单晶硅硅棒尾部长度，也能够为成批次生产特殊要求的单晶硅硅棒提供可靠的收尾控制参数。