组合导气石墨电极及无内表面气泡群石英坩埚制备方法

成果编号：9642022Y0743

第一完成单位名称：宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司

联系人：熊 欢         联系人电话：18795196059

成果简介：

项目采用两段组合式石墨电极。上段石墨电极采用高纯度高透气性石墨电极，下段石墨电极采用高纯度高致密度的石墨电极，降低了因下段石墨电极更换频次高导致的成本高的问题；上段石墨电极与下段石墨电极采用凹凸连接，上段石墨电极与下段石墨电极接触面积大，减少了引弧过程中，因连接处导电性差，造成的石墨电极损坏频率高的问题；下段石墨电极因自身温度较高，二氧化硅蒸汽无法冷却凝结，完全避免了二氧化硅凝结物，同时，下段石墨电极采用高纯度高致密度的石墨电极，可减少尖部电极头的掉落。