晶棒碳含量轴向分布计算方法

    成果编号：9642023Y1048
    第一完成单位名称：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
    联系人：赵泽慧 联系人电话：13649583801
    成果简介：
    一种晶棒碳含量轴向分布计算方法，构建第一计算公式 其中，K0为平衡溶质分凝系数，gx为晶棒在x位置的凝固比例，Cx晶棒在x位置的碳含量，C0为拉晶前石英坩埚内硅熔液中的碳含量，分别获取K0、C0、gx的数值，并根据第一计算公式计算Cx，通过检测晶棒尾部的碳含量，再利用第一计算公式，可以较为准确的计算出碳含量在晶棒的轴向分布，避免反切不足或反切过量造成单晶浪费的问题。