圆柱形硅基靶材制备工艺技术的研究

    成果编号：9642023Y0473
    第一完成单位名称：宁夏旭樱新能源科技有限公司
    联系人：王中弟 联系人电话：15709628079
    成果简介：
    该项目针对圆柱形硅基靶材制备工艺的关键环节开展技术攻关，符合国家和自治区相关产业发展政策。项目针对高质量硅基靶材及硅合金靶材的电子信息、薄膜功能材料、平面显示器等磁控溅射所需的圆柱形硅基靶材制备进行了研究，开发了圆柱形硅基靶材产品，产品达到了相应的技术指标满足了用户需求。项目开发的单晶炉制备用石英加料装置，具有一定创新性获授权实用新型专利3件。项目建成年产50吨圆形靶材生产线，实现销售额1000余万元,具有良好的市场前景。