一种大尺寸蓝宝石晶体生长方法成果转化及产业化

由天通银厦新材料有限公司完成

　　项目通过对发明专利进行成果转化，主要采用边旋转边上升的改良的KY法长晶工艺，通过实施不同公斤级蓝宝石晶体长晶工艺开发项目，实现新产品100kg、110kg、130kg级三种规格的蓝宝石晶体8350个。

　　项目针对同系列不同规格的大尺寸蓝宝石晶体生长周期长、工艺复杂等对晶体质量影响较大的问题进行研究分析试验，开发了独创的双层水冷偏心籽晶杆及夹具、新型热场、自动化控制系统、冷却水温自动控制技术、原料晶型控制技术等，通过对晶体性能的测试和微观组织结构分析，实现了长晶设备与长晶工艺的合理融合。在实施成果转化时，分别对不同规格产品需要的长晶炉结构、热场结构以及相应长晶参数进行优化设计，解决了传统泡生法长晶尺寸偏小、材料利用率偏低的瓶颈难题。

　　项目授权专利23项，其中发明专利3项、实用新型专利20项；登记计算机软件著作权10项，取得自治区科技成果2项，自治区新技术1项。

　　项目产品已成功应用于电子信息产业用电子元器件及微电子制品，新增产值2.6亿元，经济效益显著。通过实施项目，公司已基本掌握了大尺寸蓝宝石晶体生长技术，并以此为基础实施了蓝宝石长晶二期项目，对已开发的160kg、400kg级蓝宝石晶体进行批量生产，二期项目建成后公司可实现年产2000吨蓝宝石晶体的能力，居全国首位。