电子级高纯钛靶材制备关键技术研究

成果编号：9642022Y0522

第一完成单位名称：宁夏德运创润钛业有限公司

联系人：朱 骏         联系人电话：18509526533

成果简介：

项目针对电子级高纯钛靶材制备关键技术开展技术攻关。项目采用熔盐电解精炼-电子束熔炼工艺，成功制备出纯度99.997%的低氧高纯钛锭，其中杂质元素Fe 3.25ppm，Cr 2.21ppm，V 4.70ppm，氧含量≦180ppm；经热锻制造的电子级高纯钛靶材，氧含量≦200ppm，晶粒组织为细粒状等轴晶、平均晶粒12.0级，且不存在微观缺陷。项目申请发明专利2项，获授权实用新型专利2项，建成30吨/年熔盐电解生产线和5万片/年电子级靶材生产线，在建1000吨/年电子束炉1座，项目产品已形成批量销售，具有一定经济社会效益。项目在利用工业废钛制备低氧高纯钛及熔盐过滤净化工艺等方面具有创新性。