直径600mm大尺寸蓝宝石晶体生长关键设备设计及长晶控制技术开发

成果编号：9642022Y0181

第一完成单位名称：天通银厦新材料有限公司

联系人：王 丽         联系人电话：15378955725

成果简介：

项目围绕φ600mm以上的蓝宝石晶体生长技术开展研究，研制出了适合直径超过600mm蓝宝石晶体生长的新型长晶炉；开发出了新型长晶炉自动控制系统及长晶工艺技术。产品经第三方机构检测达到以下技术指标：1）产品平均直径≥550mm，高度≥680mm；2）产品重量≥600kg；3）透过率（可见光波段）≥83%，研究成果具有推广及应用前景。项目开发出了适用于新型长晶炉的高精度称重控制技术及智能双闭环高精度功率控制技术，具有创新性。申请发明专利8项，其中授权3项；授权实用新型专利3项；发表论文1篇；提交国家标准1项；培养专业技术人员5人。