适用于磁控电子溅射的硅基靶材制备工艺技术的研究

　　第一完成单位名称：宁夏高创特能源科技有限公司 

　　联系人：宋蓉蓉 联系人电话：13515963818 

　　成果简介：

　　项目形成了硅靶材基础材料胚体制备电阻匹配理论体系，建立了电阻率匹配计算模型，开发了烧结法制备硅锗合金靶材的新工艺，制备了硅锗复合新型靶材。采用复杂形状和大尺寸薄壁管状硅基靶材精密加工技术，试制出长度 800mm，壁厚小于 6mm 的薄壁管状硅靶材，产品满足市场使用要求。项目获得授权发明专利 3 件，发表学术论文 6 篇，培养 1 名博士研究生、3 名硕士研究生。