全自动高产能单晶炉系统开发研究

　　成果编号：9642021Y616 

　　第一完成单位名称：宁夏协鑫晶体科技发展有限公司 

　　联系人：李 莎 联系人电话：13723334339 

　　成果简介：

　　项目对现有热场、控制、真空系统及工艺进行了分析。进行了自动系统的开发，大尺寸热场设计，低氧碳、高分子寿命拉晶工艺等方案设计。项目开展了单晶硅炉全自动控制系统的应用研究，确 定了大投料热场下拉直单晶硅的方法，解决了拉晶功耗高、生长液面稳定性控制难、直径测量重复性差等问题，实现了生产过程全自动控制、连续加料等关键技术。项目实施期间，形成了新的操作工艺，获得实用新型专利 3 项。项目实现了装料 2500 公斤，在国内具有一定的创新性。