能够改善 111 晶向晶棒切割warp值的定向多线切割方法

    成果编号：9642024Y0252
    第一完成单位名称：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
    联系人：赵泽慧 联系人电话：13649583801
    成果简介：
    本成果提供了一种能够改善 111 晶向晶棒切割warp值的定向多线切割方法，属于单晶硅切片技术领域。通过在 111 晶向上以预定旋转角（预定旋转角为0°士5°、60°土5或-60°士5°）进行切割,显著降低硅片的warp值，显著降低批次间的warp值波动，改善硅片的面方位精度。