成果编号:9642024Y0088
第一完成单位名称:宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
联系人:熊欢 联系人电话:18795196059
成果简介:
本项目涉及一种石英砂成型用加料装置,包括旋转筛分组件和加料管,旋转筛分组件包括转轴、转轴固定架、转盘和大颗粒接料盘,转轴安装在转轴固定架内且转轴的下端与转盘固定安装,大颗粒接料盘安装在转盘的下方,大颗粒接料盘的面积大于转盘的面积,石英砂通过加料管掉落在旋转的转盘上,转盘将掉落的高纯的人工合成石英砂甩出,80%至90%细小颗粒的石英砂可以成型到旋转的模具内表面,掉落的大颗粒石英砂掉落在大颗粒接料盘内,成型结束后,将石英砂成型用加料置从模具中取出的同时顺带将大颗粒的石英砂清理出来,进而制得石英坩埚。该项目的成功应用将使石英坩埚内表面透明层R部位的质量得到改良,减少在拉晶过程中的断线现象,同时增加了坩埚的使用寿命。