基于大数据挖掘学习的单晶硅断线研究与工艺模型优化

    成果编号：9642024Y1712
    第一完成单位名称：银川隆基硅材料有限公司
    联系人：王怡旋 联系人电话：16609590599
    成果简介：
    项目通过Stream，CGSIM等软件整合单晶硅拉制过程中的数据，综合分析影响断线率的主要因素，优化关键参数，单晶硅棒制备总断线率（放肩断线+等径断线）由30%降低至24.46%，成晶单产由3.77kg/h提高至5.32kg/h，单炉连续运行时间由450h提升至500h；项目在应用大数据解决单晶硅断线及工艺模拟优化等方面具有创新性，项目申请发明专利3件；项目成果已在实际生产中应用，具有较好的经济和社会效益。