高性能铌酸锂溅射靶材的研发

    成果编号：9642024Y1698
    第一完成单位名称：北方民族大学
    联系人：周炳伟 联系人电话：13995300368
    成果简介：
    项目针对铌酸锂溅射靶材的短流程、低成本制备工艺开展技术攻关，通过对目前固相烧结工艺及还原温度、烧结温度、压制压力及升温速率，以及靶材表面处理关键工艺进行研究及优化，完成了化学计量比铌酸锂粉体的固相合成及还原处理、放电等离子烧结、靶材表面处理及背靶焊接工艺的研发，形成快速烧结制备高致密铌酸锂溅射靶材的工艺技术。项目在铌酸锂粉体的还原处理制造氧空位缺陷及陶瓷烧结方面具有创新性，获授权发明专利2件，发表论文1篇。项目开发的铌酸锂溅射靶材制备工艺解决了铌酸锂陶瓷溅射靶材烧结致密化困难、晶粒粗大且不易控制的技术难题，具有一定的推广应用前景。