高性能半导体用石英坩埚关键技术研究与应用

    成果编号：9642024Y0738
    第一完成单位名称：宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
    联系人：熊欢 联系人电话：18795196059
    成果简介：
    项目针对高性能半导体用石英坩埚的使用寿命和产品质量的要求，开展了石英坩埚原料配方优化、气泡带改善、喷涂辅助装备优化等关键技术研究。项目实施后，实现了石英坩埚内侧高纯层下 3-4mm 无气泡，使用寿命达到 300小时，外侧A1含量达到30-40ppm，抗变形率提升10%。项目申请专利7件，其中发明专利授权2件，受理4件，实用新型专利授权1件，成果具有一定的创新性。