R向蓝宝石晶体生长及外延基片加工关键技术开发

    成果编号：9642024Y0589
    第一完成单位名称：天通银厦新材料有限公司
    联系人：王丽 联系人电话：15378955725
    成果简介：
    本项目完成了100kg级R向蓝宝石晶体材料的研究开发，以及4英寸R向晶片多线切割、双面研磨、抛光等关键技术开发，项目创新突破R向晶体生长结晶动力、热应力释放控制、晶体的支撑结构关键技术以及R向晶片去除效率偏低、表面质量不易控制等关键核心难题，实现R向蓝宝石晶体生长和R向衬底片精密加工；产品技术指标达到：（1）厚度：650±20（μm）；（2）弯曲度BOW:-10～0（μm）；（3）表面晶向:R（1-102）±0.1（°）；（4）位错密度：＜1000（个/cm2）。
项目实现了R向蓝宝石晶体生长和R向晶片精密加工，申请发明专利2件，其中授权1件，形成R向蓝宝石衬底加工技术方案1套。