成果编号:9642024Y0444
第一完成单位名称:宁夏协鑫晶体科技发展有限公司
联系人:李莎 联系人电话:13723334339
成果简介:
该项目针对N型单晶电阻率高、含氧量高、杂质不均匀等现象展开研究,通过引入水平磁场、优化拉晶工艺以及改进N型单晶掺杂技术,实现了氧含量的可控性、杂质含量的降低以及N型单晶均匀性的提升。实现N 型单晶生产工艺优化和品质提升,,使得氧含量降至10ppma,少子寿命达到4056μs,电阻率范围缩小至82Ω cm,RRV控制在11.4%,并形成了一套水平磁场拉晶工艺规范。此外,该项目还获得了2件实用新型专利授权,产生了良好的社会经济效益。