改良石英坩埚及其制作方法

    成果编号：9642024Y0089
    第一完成单位名称：宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
    联系人：熊欢 联系人电话：18795196059
    成果简介：
    本项目通过增加石英坩埚外表面粗糙度工序和在石英坩埚内表面设置涂层工序来减少石英坩埚在高温下发生变形，通过增加石英坩埚外表面的粗糙度能够增加石英坩埚与石墨坩埚接触的孔隙率，在石英坩埚高温与石墨坩埚发生反应产生气体时，气体能够通过石英坩埚与石墨坩埚之间的孔隙导出，从而避免石英坩埚发生变形，另外在石英坩埚内表面上喷射氢氧化钡溶液，通过氢氧化钡与空气中的二氧化碳发生反应生成碳酸钡，再通过碳酸钡与石英坩埚发生反应生成硅酸钡，硅酸钡再诱导石英坩埚内表面生成一层致密的品体方石英层，由于晶体方石英无软化点且强度高，提高了石英坩埚内壁的强度，从而防止了石英坩埚发生变形。