高品质N型单晶硅关键制备技术研究及智能化集成控制应用

    成果编号：9642023Y1215
    第一完成单位名称：银川隆基硅材料有限公司
    联系人：杨嘉民 联系人电话：18629555199
    成果简介：
    项目基于N型直拉法单晶硅生长过程中电阻率均匀性差、氧含量高、温度场分布与精准控制难以及生产过程智能化水平低等行业共性关键技术问题，系统研究了多物理场耦合下单晶炉内传热传质和晶体生长过程，建立了电阻率控制掺杂模型与氧边界层预测模型，开发了超低炉压拉晶技术与低氧单晶生长工艺，设计了高效能超大热场和智能化控制系统，推进了N型单晶硅棒高效拉晶关键技术的创新与降本增效。该项目在银川隆基硅材料、银川隆基光伏科技、鄂尔多斯等隆基5个生产基地及一道新能源（泰州）科技有限公司等企业中推广应用，取得了良好的经济与社会效益。项目获授权发明专利18件、实用新型专利9件、软件著作权1项；发表论文21篇；参与制定国家标准4项、行业及团体标准9项。