32寸热场拉制大尺寸单晶技术研究

    成果编号：9642023Y0976
    第一完成单位名称：宁夏协鑫晶体科技发展有限公司
    联系人：李莎 联系人电话：13723334339
    成果简介：
    本项目研究32寸热场拉制大尺寸单晶技术，符合国家和自治区相关产业政策；项目通过直拉单晶结晶热力学模拟，高晶体生长速度、投料量工艺、拉晶技术等研究，设计出大尺寸低功耗大投料量的低氧热场及用32寸热场拉制大尺寸单晶的工艺稳定技术，建立了完整的拉晶及生产工艺。项目完成后，实现单炉投料量2600kg 以上，提升幅度25%，单晶良品率从 81.88%增长至87.52%以上，拉晶速度从 1.78 mm/min提升至 1.85 mm/min。通过对热场的初步试验改进，单晶头部氧含量明显降低。项目执行期间，形成新工艺1套，获授权实用新型专利2件。