设置铍铝合金膜的多层压电基片及其制备方法

    成果编号：9642023Y0710
    第一完成单位名称：北方民族大学
    联系人：肖学峰 联系人电话：18609581817
    成果简介：
    该项目提出一种设置铍铝合金膜的多层压电基片，包括依次设置的压电基体层、导电层，所述导电层为铍铝合金膜，该项目采用铍铝合金作为溅射膜，铍为六方晶系，易于与相同晶格结构的压电基体层结合，而合金中的铝则可以作为传声的材料，提高其传声效率，如此利用铍解决了铝膜与压电基片之间由于晶格结构不同而导致的结合不良的问题；并且，合金膜与铝膜均为金属膜，二者依靠金属键结合，结合状态良好，不易脱落。