重掺锑掺入方法及拉制工艺研究

    成果编号：9642023Y0591
    第一完成单位名称：宁夏中晶半导体材料有限公司
    联系人：周小渊 联系人电话：18095599380
    成果简介：
    项目共开展四个方面的研究内容，开展锑元素掺杂方法及掺杂工装的研究，实现了锑元素的精确无异常掺入;研究在水平磁场条件下直拉法生长重掺锑单晶硅的位错控制及拉制工艺，实现了水平磁场条件下无位错重掺锑单晶硅的拉制;开展抑制锑元素挥发的研究，找到了抑制锑元素挥发的有效方法;整理电阻率模拟计算逻辑及公式，确定关键参数，形成了重掺锑电阻率计算方法。项目完成了三项考核指标，分别为拉制出整根掺锑单晶硅棒、找出掺锑产品的浓度规律、形成重掺锑电阻率的计算方法。项目完成了三项验收内容，三项验收内容均达到目标。项目实施过程中，设计的掺锑工程装置具有-定的创新性。