基于声表面波滤波器应用的低静电黑色钽酸
锂晶片制备工艺及性能研究

由北方民族大学、宁夏钜晶源晶体科技有限公司，就4G、5G 射频段声表面波滤波器最佳材料钽酸锂晶体黑化晶片的制备工艺及性能开展了相关研究，即通过钽酸锂晶体生长、晶片黑化和超薄晶片加工等专题研究，突破了大尺寸、超薄钽酸锂晶片的黑化关键技术，降低了钽酸锂晶片的热释电效应和光透过率，明显提高了晶片的导电性和黑化均匀性，形成了稳定的 0.25mm 厚度超薄晶片加工工艺，提出了利用电阻率测试钽酸锂晶片黑化效果的工业化测试方法。

项目授权发明专利3项，实用新型专利5项，发表论文9篇，项目实现了大尺寸低静电黑化钽酸锂晶片的稳定工业化生产及批量供货，截止2020 年底钽/铌酸锂销售晶片18万余片。随着5G 、6G的推广和落地，对声表面波器件的需求将急剧增加，钽/铌酸锂晶片的需求量将会成倍增长，其经济利益前景广阔。