自治区重点研发项目“声表面波滤波器用黑

化钽酸锂晶片制备”取得重要成果

　　近日，自治区重点研发计划项目“基于声表面波滤波器应用的低静电黑色钽酸锂晶片制备工艺及性能研究”通过自治区科技厅组织的专家验收，项目实施取得重要成果。

　　该项目针对电子信息关键材料钽酸锂晶体晶片黑化的技术瓶颈，集合了北方民族大学固体电子材料与器件科研团队及宁夏钜晶源晶体科技有限公司的技术人员联合开展攻关，攻克了大尺寸钽酸锂晶体生长技术、晶片黑化还原技术、超薄黑片加工工艺等技术难题，有效降低了钽酸锂晶片的热释电效应及光透过率，显著提高了晶片的导电性和黑化均匀性，实现了0.25mm以下厚度的超薄钽酸锂黑化晶片的稳定工业化生产，相关技术达到了国内领先水平。

　　通过项目实施，在国内外已发表高水平论文8篇（SCI检索5篇、EI检索3篇），获得发明专利授权3项、实用新型专利授权5项。项目开发出的新产品已销售上千万元，具有广阔的市场前景。